真空镀膜机的原理

2021-07-20

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  真空镀膜机是目前使用最广泛的真空条件下的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜三大部分组成,排气系统由“扩散泵 + 机械泵 + 罗茨泵 + 低温陷阱 + 多冷”组成。本公司专业从事真空镀膜设备的研发和生产,拥有经验丰富的技术队伍和优质的售后服务队伍,为您解决设备在使用中遇到的任何问题。下面,详细介绍了真空镀膜机各部件的组成及其工作原理。


  一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用最广泛的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。

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  二、辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。

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  上述各部件中,真空泵的选择是十分重要的一环,具体要如何选择大家可以参考《真空镀膜机怎么选配真空泵?》。