真空是支撑真空镀膜机运行的环境,尤其是需要高真空度的设备。通常,我们需要达到高的真空度,而抽气系统的功能是不可缺少的。但是除了抽气系统之外,真空镀膜设备的操作还有一点,就是工件的脱气。
有些工件内部有大量气体和水分,在设备加热时会排入真空室,降低真空度。更有甚者,有些气体含有有毒成分,直接破坏真空室内部机械结构,导致设备无法正常运行。
另外,在镀膜的过程中,由于工件内气体的受热膨胀,很容易使已经镀膜的薄膜开裂。当然,这种情况的概率取决于工件本身的物理性质。比如容易膨胀的,比如塑料,概率就比较高,而对于坚硬的材料,比如金属,概率就比较低,但也不能忽略。因此,工件的除气是非常必要的。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前,工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时,它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。
针对不同的工件采取不同的脱气措施,可以有效控制工件内部气体和水的排放,提高涂层的稳定性和均匀性。